キヤノンマーケティングジャパン株式会社（代表取締役社長：足立正親、以下キヤノンMJ）は、国内独占販売契約を締結しているSigray（シグレイ）社（Sigray, Inc.、本社：アメリカ合衆国カリフォルニア州ベニシア市、CEO：Dr. Wenbing Yun）製で、1台で直交CTと斜めCT（ラミノグラフィ）に対応し最高空間分解能400nm以下を実現したハイブリッド型ナノ3DX線顕微鏡“ApexHybrid-200TM（エイペックス ハイブリッド ニヒャク）”を、2025年5月26日より発売します。

複雑化が進む半導体製品の故障解析などにおいて、大型のプリント基板から小型のチップレット（※1）に至るまで、さまざまなサイズや構造のサンプルに対応する必要があり、それぞれに応じた多段階の工程にかかる作業時間が課題となっています。一方、電気自動車向けバッテリーとして量産化が期待される全固体電池の開発においても、材料評価や構造解析といった作業が煩雑化しており、迅速かつ高精度な解析技術の導入が求められています。
これらの課題や要望に対しキヤノンMJは、ハイブリッド型ナノ3DX線顕微鏡“ApexHybrid-200TM”を発売します。

■直交入射モード／斜入射モードで、多様なサンプルの解析。最高空間分解能（※2）は400nm以下 を実現。

“ApexHybrid-200TM”は、X線を直交入射と斜入射に切り替えることが可能なハイブリッド型ナノ3DX線顕微鏡です。
Ｘ線CT装置において一般的な方式である直交入射は、高い空間分解能の画像を得ることができ、細かい構造や微小な欠陥を鮮明にとらえることが可能です。一方で斜入射は、直交入射に比べより大きなサンプルを近接で観察することが可能であり、サンプルを切断することなく非破壊での解析を実現します。
Sigray社“ApexHybrid-200TM”は、特許取得済みの斜入射機構「精密角度ラミノグラフィ（Precision Angle Laminography, PAL）」と、直交入射の2種類の入射モードを搭載しています。PALモードでは、最大225mmΦまでの大型サンプルに対して、サブミクロン（※3）レベルの空間分解能で非破壊かつ短時間（約15分間（※4））での測定が可能です。2種類の入射モードによりさまざまな形状や大きさのサンプルに対して最適な撮像を実現する“ApexHybrid-200TM”は、効率的な故障解析や研究開発を強力に支援します。

  

今後もキヤノンMJは、X線分析のニーズの高まりに応え、X線CT装置市場の活性化だけでなく、これまで困難であったアプリケーションの分析を実現するために、商品ラインアップを拡充し、分析ソリューション事業を拡大していきます。キヤノンMJは、今後5年間で「ApexHybrid-200TM」を30台以上販売することを目指します。

※1.    異なるチップを並べたり重ねたりして組み合わせることで、1つのパッケージとして機能させること。

※2.    近い距離にある２つの物体を識別できる能力のこと。識別できる距離が短い程空間分解能が高い。

※3.    1μm（=1,000nm）以下。

※4.    シリコンウエハーの場合

※5.    標準仕様の場合。装置構成や為替レートにより価格は変動します。

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• 一般の方のお問合せ先：キヤノンマーケティングジャパン株式会社　産業機器事業部　営業部　営業第三課　03-3740-3399（直通）

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  〈ハイブリッド型ナノ3DX線顕微鏡“ApexHybrid-200TM”の主な特長〉

• 空間分解能400nm以下を実現。

• 大型サンプルにおいても高い空間分解能で測定可能。

• 15分以内で、高品質ラミノグラフィデータを取得可能。

• 搭載可能試料サイズ直径300mmまでの平板状サンプルを高速測定可能な、特許取得済みの装置構造を搭載。

• 半導体やバイオマテリアルといった幅広いサンプルにおいて、高コントラストでの測定が可能。   

“ApexHybrid-200TM”観察対象例

• 半導体部品（パッケージ、プリント基板、ウェーハなど）

• 高機能材料（リチウムイオン電池、全固体電池、燃料電池など）

• 金属材料（鉄鋼、ステンレス鋼、アルミニウム合金、銅合金など）

• ソフトマテリアル（炭素繊維、高分子材料、ゴムなど）

• バイオマテリアル（細胞、生体機能材料など）

• 地球科学（鉱物学、海洋物理、惑星地質学など）

高空間分解能

空間分解能チャートを用いて、斜入射モードでの空間分解能400nmのラインアンドスペース像です。
左図はチャートの全体像、右図はチャートの拡大画像です。

測定画像例

                                      
半導体バンプサンプルの比較画像です。空間分解能500nmのX線CT装置と比較して、ApexHybrid-200TMでは、高い空間分解能により、斜入射モードで検出されたバンプの欠陥が明瞭に観察出来ます。     

〈Sigray社の概要〉

• 社名：Sigray, Inc.

• 設立：2013年

• 本社所在地：5500 E 2nd Street, Benicia CA 94510 USA

• 社員数：73名 ※2023年12月時点

• 事業内容：各種X 線装置およびコンポーネントの販売とサービスの提供

• 保有知財：世界中で成立特許60件 ※2023年12月時点

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出典：PR TIMES

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企業プレスリリース詳細へ （2025年5月26日 10時00分）