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Infinitesima Metron3D 300mmシステムが大手DRAMメーカーのインライン・プロセス制御に正式採用
Infinitesima Ltd InfinitesimaはASMLなどのパートナーと3箇年の開発プロジェクトを開始すると発表しました。300mm対応のインライン・ウェハ計測システム「Metron®3D」は、ハイブリッド・ボンディングや高NA EUVリソグラフィーのほか、CFET(相補型電界効... -
Infinitesima Metron®3D 300mmシステムが大手DRAMメーカーのインライン・プロセス制御に正式採用
Infinitesima Ltd ・韓国のSKハイニックス社が先進的なDRAM製造工程に超高速インライン原子間力顕微鏡(AFM)「Metron®3D」を採用 ・Metron®3Dは一般的なAFMの10倍の速度で画像を生成できるため、高速な量産工程(HVM)に最適 Infinitesimaは、フルスタッ...
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